Optimisation des techniques de microfabrication sur diamant

Liste complète des métadonnées

Format du dépôt	Fichier
Type de dépôt	Communication dans un congrès
Titre	en Optimisation des techniques de microfabrication sur diamant
Auteur(s)	Lya Fontaine ¹ , Karine Isoird ¹ , Josiane Tasselli ¹ , Alain Cazarré ² , Patrick Austin ¹ , Adrian Laborde ³ 1 LAAS-ISGE - Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie ( 388682 ) - France Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes ( 459 ) ; Université Toulouse Capitole ( 81148 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse ( 116255 ) ; Institut National des Sciences Appliquées ( 301232 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Université Toulouse - Jean Jaurès ( 116256 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Université Toulouse III - Paul Sabatier ( 217752 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Centre National de la Recherche Scientifique UPR8001 ( 441569 ) ; Institut National Polytechnique (Toulouse) ( 448187 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) 2 LAAS-S4M - Équipe Instrumentation embarquée et systèmes de surveillance intelligents ( 458105 ) - France Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes ( 459 ) ; Université Toulouse Capitole ( 81148 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse ( 116255 ) ; Institut National des Sciences Appliquées ( 301232 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Université Toulouse - Jean Jaurès ( 116256 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Université Toulouse III - Paul Sabatier ( 217752 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Centre National de la Recherche Scientifique UPR8001 ( 441569 ) ; Institut National Polytechnique (Toulouse) ( 448187 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) 3 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique ( 389044 ) - France Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes ( 459 ) ; Université Toulouse Capitole ( 81148 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse ( 116255 ) ; Institut National des Sciences Appliquées ( 301232 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Université Toulouse - Jean Jaurès ( 116256 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Université Toulouse III - Paul Sabatier ( 217752 ) ; Université de Toulouse ( 443875 ) ; Centre National de la Recherche Scientifique UPR8001 ( 441569 ) ; Institut National Polytechnique (Toulouse) ( 448187 ) ; Université de Toulouse ( 443875 )
Réseau RENATECH	Non
Page/Identifiant	691 - 697
Volume	19
Date de publication	2019-06
Actes	Oui
Audience	Nationale
Invité	Non
Comité de lecture	Oui
Vulgarisation	Non
Langue du document	Français
Titre du congrès	Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2019)
Date début congrès	2019-06-03
Ville	Montpellier
Pays	France
Référence interne	Rapport LAAS n° 19317
Domaine(s)	Sciences de l'Homme et Société Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux

Fichier principal

Fontaine Lya JNRDM.pdf ( 2.92 Mo )

Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Lya Fontaine : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://shs.hal.science/halshs-02329822

Soumis le : mercredi 23 octobre 2019 à 16:55:35

Dernière modification le : mercredi 13 décembre 2023 à 18:07:00

Archivage à long terme le : vendredi 24 janvier 2020 à 20:21:21

Dates et versions

halshs-02329822, version 1 (23-10-2019)

Identifiants

HAL Id : halshs-02329822 , version 1

Citer

Lya Fontaine, Karine Isoird, Josiane Tasselli, Alain Cazarré, Patrick Austin, et al.. Optimisation des techniques de microfabrication sur diamant. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2019), Jun 2019, Montpellier, France. pp.691 - 697. ⟨halshs-02329822⟩

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Dernière date de mise à jour le 07/04/2024